РОСНАНО профинансирует два новых проекта

Совет директоров РОСНАНО принял решение о финансировании двух новых проектов: создание первого в России промышленного производства микропорошков карбида кремния и создание производства литографических систем с разрешением более 22 нанометров на основе принципов электронно-лучевой безмасочной литографии.

Проект по созданию первого в России промышленного производства микропорошков карбида кремния.

Карбид кремния обладает исключительными физическими и химическими свойствами, к числу которых относятся: высокая твердость (уступает лишь алмазу и нитриду бора), низкий коэффициент термического расширения, химическая инертность, огнеупорность, а также высокая износостойкость. Основная продукция проекта (микропорошки карбида кремния) используется для резки и шлифовки кристаллов кремния и сапфира, а также других материалов, применяемых в качестве подложек для микроэлектроники, силовой электроники и солнечных батарей. Также карбид кремния применяется при изготовлении абразивных инструментов и материалов, керамических и огнеупорных изделий, высоковольтных разрядников и варисторов и, в качестве добавки, в металлургии. Использование передовых технологий проекта, как на стадии производства кристаллического карбида кремния, так и на стадии дальнейшей переработки в конечную продукцию, дает существенное снижение себестоимости за счет уменьшения энергопотребления и увеличения выхода готового продукта с улучшенными потребительскими свойствами.

Проект по созданию производства литографических систем с разрешением более 22 нанометров на основе принципов электронно-лучевой безмасочной литографии.

Литография является центральным процессом производства микросхем и позволяет на данный момент обеспечить разрешение около 32 нанометров. Безмасочная литография на основе электронно-лучевой технологии является одним из основных претендентов на литографию следующего поколения и позволяет достигнуть более высокого разрешения процесса. Она является более привлекательным решением по сравнению с альтернативными подходами, так как не требует дорогостоящих фотошаблонов (масок), отличается меньшими габаритами оборудования и более низкими затратами на расходные материалы.

Окончательные параметры новых инвестпроектов РОСНАНО будут раскрыты после подписания инвестиционного соглашения между его участниками.