РОСНАНО начало финансирование проекта для микро- и наноэлектроники

РОСНАНО начало финансирование проекта для микро- и наноэлектроники   РОСНАНО начало финансирование проекта по расширению выпуска автоматизированных вакуумных установок на базе производственных мощностей ООО «ЭСТО-Вакуум».

   Основной сферой применения продукции проектной компании является опытное и мелкосерийное производство электроники: изготовление микро- и наноэлектромеханических устройств, кварцевых микрорезонаторов. Также такие установки используются для электронно-лучевого и магнетронного напыления, ионного и плазмохимического травления, PVD и CVD осаждения с целью формирования функциональных покрытий*.

   «Уникальной компетенцией проектной компании является то, что на единой платформе объединены несколько высоковакуумных камер, что позволяет последовательно выполнять разные операции сложного технологического процесса. Это ключевой элемент любого прецизионного оборудования, без которого развитие целого ряда отраслей невозможно. Уверен, что отечественная продукция в этом сегменте составит серьезную конкуренцию импортируемым аналогам, и доля присутствия «ЭСТО-Вакуум» на рынке будет расти», - отметил управляющий директор РОСНАНО Константин Деметриу.

   Реализуемые с помощью установок «ЭСТО-Вакуум» смешанные технологические процессы способны создавать сложные многокомпонентные структуры, например, лазеры и светодиоды из арсенида и нитрида галлия, фосфида индия. Также среди возможных применений оборудования – датчики влажности на основе нанотрубок, магнитные датчики на базе чередующихся нанометровых слоев магнитных и немагнитных материалов, тензодатчики, в которых толщина моносульфида самария составляет менее 100 нм и др.

   Общий бюджет проекта составит 1 млрд. рублей, из которых РОСНАНО профинансирует 198,5 млн. рублей. Планируется, что на плановую мощность производства, составляющую 60 установок в год, проектная компания выйдет к 2016 году.